干式真空泵

  • 产品名称: 干式真空泵
  • 产品分类: 干式真空泵
  • 公司名称: 山东泽一真空设备有限公司
  • 添加时间: 17/05/05
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干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

干式真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。



干式真空泵产品热销城市:山东,江苏,浙江,河北,上海
点击次数:   更新时间:17/05/05 18:22:05   【打印此页】   【关闭

山东泽一真空设备有限公司
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